聯(lián)系我們
- 上海首立實(shí)業(yè)有限公司
- 公司地址：上海市閔行區(qū)古美路1471號(hào)華城廣場(chǎng)307室
- 公司傳真：86-21-54933358-813
- 聯(lián)系QQ：
掃一掃，立刻溝通
你的位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > HORIBA（過(guò)程&環(huán)境） > 過(guò)程分析 >殘余氣體分析儀
產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)
殘余氣體分析儀
- 產(chǎn)品型號(hào)：MICROPOLE系統(tǒng)
- 更新時(shí)間：2024-03-19
- 產(chǎn)品介紹：微型殘余氣體分析儀是一種較小的質(zhì)量能譜儀分析系統(tǒng)。通過(guò)享有的小型化設(shè)計(jì)將四電極質(zhì)量過(guò)濾器進(jìn)行排列，從而獲得了緊湊尺寸。這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度。
- 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產(chǎn)品介紹
特征
- 較為緊湊的安裝尺寸和較輕的重量
與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比，尺寸較小，這使它容易整合到您的系統(tǒng)之中。
- 高性能
在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。
- 高壓力條件下可使用
可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10-3mbar）的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應(yīng)用當(dāng)中，可以簡(jiǎn)化或者省略泵的使用。
- 已經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的可替換傳感器接頭
此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進(jìn)行過(guò)預(yù)調(diào)諧和校準(zhǔn)。允許客戶自己在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行傳感器的更換。
- 網(wǎng)絡(luò)傳感器
升級(jí)到八電極后，可以通過(guò)一臺(tái)使用RS485接口的電腦進(jìn)行監(jiān)測(cè)。此系統(tǒng)也可以通過(guò)以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)。
- 用戶友好軟件
微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測(cè)氣體的部分壓力，如趨勢(shì)曲線圖，相似性曲線圖，泄露模式，條形統(tǒng)計(jì)圖，3D等
- 監(jiān)測(cè)控制
可選擇性的監(jiān)測(cè)控制器可以安裝在反應(yīng)室的光譜發(fā)生器上，使用戶無(wú)需電腦可以監(jiān)測(cè)真空反應(yīng)室。
■測(cè)量原理
殘余氣體分析儀是由一個(gè)離子源，一個(gè)質(zhì)量分光儀和一個(gè)監(jiān)測(cè)單元組成。當(dāng)殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產(chǎn)生的離子會(huì)加速會(huì)合到質(zhì)量能譜儀上。在質(zhì)量能譜儀上內(nèi)，直流和交流電壓被應(yīng)用到四個(gè)圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質(zhì)量的不同而被分離開(kāi)。這些被分開(kāi)的離子通過(guò)法拉第杯作為直流電被發(fā)現(xiàn)。這種離子電流是與殘余氣體的質(zhì)量成比例的。